<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?>
<!DOCTYPE article PUBLIC "-//NLM//DTD JATS (Z39.96) Journal Publishing DTD v1.3 20210610//EN" "JATS-journalpublishing1-3.dtd">
<article article-type="research-article" dtd-version="1.3" xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xmlns:xsi="http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance" xml:lang="ru"><front><journal-meta><journal-id journal-id-type="publisher-id">veststu</journal-id><journal-title-group><journal-title xml:lang="ru">Вестник Сибирского государственного университета путей сообщения</journal-title><trans-title-group xml:lang="en"><trans-title>Bulletin of Siberian State University of Transport</trans-title></trans-title-group></journal-title-group><issn pub-type="ppub">1815-9265</issn><publisher><publisher-name>Сибирский государственный университет путей сообщения</publisher-name></publisher></journal-meta><article-meta><article-id custom-type="elpub" pub-id-type="custom">veststu-824</article-id><article-categories><subj-group subj-group-type="heading"><subject>Research Article</subject></subj-group><subj-group subj-group-type="section-heading" xml:lang="ru"><subject>СТРОИТЕЛЬСТВО И АРХИТЕКТУРА</subject></subj-group><subj-group subj-group-type="section-heading" xml:lang="en"><subject>BUILDING AND ARCHITECTURE</subject></subj-group></article-categories><title-group><article-title>Низкотемпературно обжигаемая керамика для технологии LTCC (аналитический обзор)</article-title><trans-title-group xml:lang="en"><trans-title></trans-title></trans-title-group></title-group><contrib-group><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Плетнев</surname><given-names>П. М.</given-names></name></name-alternatives><email xlink:type="simple">noemail@neicon.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff-1"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Кумачева</surname><given-names>С. А.</given-names></name></name-alternatives><email xlink:type="simple">noemail@neicon.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff-1"/></contrib></contrib-group><aff xml:lang="ru" id="aff-1"><institution>СГУПС</institution><country>Russian Federation</country></aff><pub-date pub-type="collection"><year>2016</year></pub-date><pub-date pub-type="epub"><day>16</day><month>09</month><year>2026</year></pub-date><issue>2</issue><fpage>28</fpage><lpage>35</lpage><permissions><copyright-statement>Copyright &amp;#x00A9; Плетнев П.М., Кумачева С.А., 2026</copyright-statement><copyright-year>2026</copyright-year><copyright-holder xml:lang="ru">Плетнев П.М., Кумачева С.А.</copyright-holder><copyright-holder xml:lang="en">Плетнев П.М., Кумачева С.А.</copyright-holder><license xml:lang="ru" license-type="creative-commons-attribution" xlink:href="https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/" xlink:type="simple"><license-p>Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.</license-p></license><license xml:lang="en" license-type="creative-commons-attribution" xlink:href="https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/" xlink:type="simple"><license-p>This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.</license-p></license></permissions><self-uri xlink:href="https://www.vestnikstu.ru/jour/article/view/824">https://www.vestnikstu.ru/jour/article/view/824</self-uri><abstract><p>В работе представлен аналитический обзор ряда публикаций отечественных и зарубежных авторов, посвященных важной научно-технической проблеме - разработке составов и технологии получения низкотемпературно обжигаемой керамики для технологии LTCC (Low Temperature Co-fired Ceramics). Ученые США, Германии, Японии, Китая, Кореи и других стран осуществляют широкомасштабные исследования в этой области. Существует, как минимум, два подхода к решению этой сложной научно-технической проблемы. Общим в этих двух технологических направлениях является то, что продукт представляет собой стеклокомпозит, состоящий из кристаллической фазы и стекла. По первому варианту технологии жидкофазного спекания необходима подготовка легкоплавкого стекла с заданным комплексом свойств, в качестве кристаллической фазы используются порошки готового соединения (наполнителя) с последующим совместным спеканием шихты. По второму способу стеклокомпозит получают путем кристаллизации расплава стекла заданного состава. К настоящему времени наиболее изученной является технология получения LTCC-керамики посредством предварительной подготовки легкоплавкой стеклообразующей композиции с последующим введением в нее тугоплавкого наполнителя (например, глинозема). Данная технология реализована на практике ведущими фирмами США (Ferro, DuPont), Германии (Heraeus), Японии (Asahi Glass, Kyocera). Многообразие исследуемых стеклообразующих композиций базируется на использовании оксидов бора и кремния (стеклообразователи) и модификаторов различной физико-химической природы, включая щелочно-земельные и щелочные элементы. Анализ показывает, что обстоятельные исследования, проводимые научными международными центрами, по формату и глубине изучения направлены на разработку приемов управления сложными технологическими процессами и регулирования физико-технических свойств LTCC-керамики.</p></abstract><kwd-group xml:lang="ru"><kwd>низкотемпературно обжигаемая керамика</kwd><kwd>стеклообразующие оксиды</kwd><kwd>стеклокерамический композит</kwd><kwd>легкоплавкое стекло</kwd><kwd>диэлектрические свойства</kwd><kwd>LTCC</kwd></kwd-group></article-meta></front><back><ref-list><title>References</title><ref id="cit1"><label>1</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Назарова Г.Н., Елесин В.В., Дмитриев В.А. Возможности технологии LTCC для создания корпусов интегральных микросхем СВЧ диапазона // Материалы XIII науч.-техн. конф. «Пульсар-2014». 2015. С. 321-324.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Назарова Г.Н., Елесин В.В., Дмитриев В.А. Возможности технологии LTCC для создания корпусов интегральных микросхем СВЧ диапазона // Материалы XIII науч.-техн. конф. «Пульсар-2014». 2015. С. 321-324.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit2"><label>2</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Кондратюк Р.И. Система для сборки и герметизации монолитных СВЧ-микросхем // Нано индустрия. 2011. № 6. С. 10-13.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Кондратюк Р.И. Система для сборки и герметизации монолитных СВЧ-микросхем // Нано индустрия. 2011. № 6. С. 10-13.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit3"><label>3</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Чигиринский С. LTCC-технология. Материалы и подготовка шликера // Электроника НТБ. 2010. № 2. C. 25-28.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Чигиринский С. LTCC-технология. Материалы и подготовка шликера // Электроника НТБ. 2010. № 2. C. 25-28.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit4"><label>4</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Чигиринский С. Материалы, применяемые в технологии LTCC // Степень интеграции. 2010. № 3. С. 10-13.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Чигиринский С. Материалы, применяемые в технологии LTCC // Степень интеграции. 2010. № 3. С. 10-13.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit5"><label>5</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Кондратюк Р. LTCC - низкотемпературная совместно обжигаемая керамика // Наноиндустрия. 2011. № 2. С. 26-30.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Кондратюк Р. LTCC - низкотемпературная совместно обжигаемая керамика // Наноиндустрия. 2011. № 2. С. 26-30.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit6"><label>6</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Кондратюк Р. Низкотемпературная совместно обжигаемая керамика (LTCC). Преимущества. Технология. Материалы // Передовые технологии. 2011. № 5. С. 14-17.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Кондратюк Р. Низкотемпературная совместно обжигаемая керамика (LTCC). Преимущества. Технология. Материалы // Передовые технологии. 2011. № 5. С. 14-17.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit7"><label>7</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Перцель Я., Яковлев А. Преимущества использования технологии низкотемпературной керамики для реализации радиоэлектронных устройств // Современная электроника. 2012. № 8. С. 16-17.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Перцель Я., Яковлев А. Преимущества использования технологии низкотемпературной керамики для реализации радиоэлектронных устройств // Современная электроника. 2012. № 8. С. 16-17.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit8"><label>8</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Потапов Ю. Особенности технологии проектирования и производства LTCC-модулей // Технологии в электронной промышленности. 2008. № 3. С. 59-64.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Потапов Ю. Особенности технологии проектирования и производства LTCC-модулей // Технологии в электронной промышленности. 2008. № 3. С. 59-64.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit9"><label>9</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Дмитриев М.В. Влияние режимов спекания на параметры стеклокерамики с кристаллизуемым стеклом // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. 2000. № 1. С. 36-39.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Дмитриев М.В. Влияние режимов спекания на параметры стеклокерамики с кристаллизуемым стеклом // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. 2000. № 1. С. 36-39.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit10"><label>10</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Погребенков В.М., Пашков Д.А. Стеклокерамические материалы низкотемпературного спекания для электронной техники // Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2014): Сб. науч. тр. 3-й междунар. науч.-техн. конф. молодых ученых, аспирантов и студентов. 2014. С. 391-394.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Погребенков В.М., Пашков Д.А. Стеклокерамические материалы низкотемпературного спекания для электронной техники // Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2014): Сб. науч. тр. 3-й междунар. науч.-техн. конф. молодых ученых, аспирантов и студентов. 2014. С. 391-394.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit11"><label>11</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Вартанян МА., Лукин Е. С., Попова Н.А. Керамика низкотемпературного обжига для подложек микросхем // Стекло и керамика. 2008. № 1. С. 28-30.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Вартанян МА., Лукин Е. С., Попова Н.А. Керамика низкотемпературного обжига для подложек микросхем // Стекло и керамика. 2008. № 1. С. 28-30.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit12"><label>12</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Разработка отечественного керамического материала для изготовления изделий по технологии LTCC / Ю.К. Непочатов, С.А. Кумачева, Ю.И. Швецова, А.А. Дитц // Современная электроника. 2014. № 4. С. 12-14.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Разработка отечественного керамического материала для изготовления изделий по технологии LTCC / Ю.К. Непочатов, С.А. Кумачева, Ю.И. Швецова, А.А. Дитц // Современная электроника. 2014. № 4. С. 12-14.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit13"><label>13</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Пономарев С.В., Сунцов С.Б. Анализ влияния технологического процесса изготовления многослойных интегральных схем на основе керамики с низкой температурой обжига на результаты моделирования напряженно-деформированного состояния модулей для бортовой РЭА. Обзор // Доклады ТУСУРа. 2010. № 2 (22). С. 207.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Пономарев С.В., Сунцов С.Б. Анализ влияния технологического процесса изготовления многослойных интегральных схем на основе керамики с низкой температурой обжига на результаты моделирования напряженно-деформированного состояния модулей для бортовой РЭА. Обзор // Доклады ТУСУРа. 2010. № 2 (22). С. 207.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit14"><label>14</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Плетнев П.М., Кумачева СА., Непочатов Ю.К. Структурно-фазовые и технологические свойства низкотемпературной керамики // Строительные материалы - 4 С: Междунар. сб. науч. тр. РАЕН. 2015. С. 31-35.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Плетнев П.М., Кумачева СА., Непочатов Ю.К. Структурно-фазовые и технологические свойства низкотемпературной керамики // Строительные материалы - 4 С: Междунар. сб. науч. тр. РАЕН. 2015. С. 31-35.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit15"><label>15</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Synthesis and characterization of CBS glass/ceramic composites for LTCC application / G. Chen, L. Tang, J. Cheng, M. Jiang // Journal of Alloys and Compounds. 2009. № 478. Р. 858-862.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Synthesis and characterization of CBS glass/ceramic composites for LTCC application / G. Chen, L. Tang, J. Cheng, M. Jiang // Journal of Alloys and Compounds. 2009. № 478. Р. 858-862.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit16"><label>16</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Low temperature preparation of the p-CaSiO3 ceramics based on the system CaO-SiO2-BaO-B2O3 / S. №en, X. Zhou, S. Zhan, B. Li // Journal of Alloys and Compounds. 2010. № 505. Р. 613-618.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Low temperature preparation of the p-CaSiO3 ceramics based on the system CaO-SiO2-BaO-B2O3 / S. №en, X. Zhou, S. Zhan, B. Li // Journal of Alloys and Compounds. 2010. № 505. Р. 613-618.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit17"><label>17</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Jean J., Lin S. Low-fire processing of ZrO-SnO2-TiO2 ceramics // Journal of the American Ceramic Society. 2000. № 83 (6). Р. 1417-1422.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Jean J., Lin S. Low-fire processing of ZrO-SnO2-TiO2 ceramics // Journal of the American Ceramic Society. 2000. № 83 (6). Р. 1417-1422.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit18"><label>18</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Characterizations of CaO-B2O3-SiO2 glass-ceramics: thermal and electrical properties / C. Chiang, S. Wang, Y. Wang, Y. Hsu // Journal of Alloys and Compounds. 2008. № 461. Р. 612-616.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Characterizations of CaO-B2O3-SiO2 glass-ceramics: thermal and electrical properties / C. Chiang, S. Wang, Y. Wang, Y. Hsu // Journal of Alloys and Compounds. 2008. № 461. Р. 612-616.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit19"><label>19</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Tailor-made BaO-CaO-AkO3-SiO2-based glass sealant for anode-supported planar SOFC / S. Ghosh, D. Sharma, P. Kundu, N. Basu // ESC Transactions. 2007. № 7 (1). Р. 2443-2452.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Tailor-made BaO-CaO-AkO3-SiO2-based glass sealant for anode-supported planar SOFC / S. Ghosh, D. Sharma, P. Kundu, N. Basu // ESC Transactions. 2007. № 7 (1). Р. 2443-2452.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit20"><label>20</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Dielectric properties of new glass-ceramics for LTCC applied to microwave or millimeter-wave frequencies / N. Mori, Y. Sugimoto, J. Harada, Y. Higuchi // Journal of Europe Ceramic Society. 2006. № 26 (11). Р. 1925-1928.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Dielectric properties of new glass-ceramics for LTCC applied to microwave or millimeter-wave frequencies / N. Mori, Y. Sugimoto, J. Harada, Y. Higuchi // Journal of Europe Ceramic Society. 2006. № 26 (11). Р. 1925-1928.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit21"><label>21</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Takada T., Wang S., Yoshikawa S. Effect of glass additions on BaO-TiO2-WO3 microwave ceramics // Journal of the American Ceramic Society. 1994. № 77 (7). Р. 1909-1916.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Takada T., Wang S., Yoshikawa S. Effect of glass additions on BaO-TiO2-WO3 microwave ceramics // Journal of the American Ceramic Society. 1994. № 77 (7). Р. 1909-1916.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit22"><label>22</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Wang S., Zhou H. Densification an dielectric properties of CaO-B2O3-SiO2 system glass ceramics // Materials Science and engineering. 2003. № 99. Р. 597-600.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Wang S., Zhou H. Densification an dielectric properties of CaO-B2O3-SiO2 system glass ceramics // Materials Science and engineering. 2003. № 99. Р. 597-600.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit23"><label>23</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Densification and microwave dielectric properties of CaO-B2O3-SiO2 system glass-ceramics / C. Chiang, S. Wang, Y. Wang, W. Wei // Ceramics International. 2008. № 34. Р. 599-604.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Densification and microwave dielectric properties of CaO-B2O3-SiO2 system glass-ceramics / C. Chiang, S. Wang, Y. Wang, W. Wei // Ceramics International. 2008. № 34. Р. 599-604.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit24"><label>24</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Microwave dielectric properties of glass-ceramic composites for low temperature co-firable ceramics / C. ^en, C. Chou, W. Shih, K. Liu // Materials Chemistry and Physics. 2003. № 79. Р. 129-134.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Microwave dielectric properties of glass-ceramic composites for low temperature co-firable ceramics / C. ^en, C. Chou, W. Shih, K. Liu // Materials Chemistry and Physics. 2003. № 79. Р. 129-134.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit25"><label>25</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Jean J., Gupta T.K. Densification kinetics and modeling of glass-filled alumina composite // Journal of material researches. 1994. № 3 (9). Р. 771-780.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Jean J., Gupta T.K. Densification kinetics and modeling of glass-filled alumina composite // Journal of material researches. 1994. № 3 (9). Р. 771-780.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit26"><label>26</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Chen X. Densification and characterization of SiO2-B2O3-CaO-MgO glass / A2O3 composites for LTCC application // Ceramics International. 2013. № 39.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Chen X. Densification and characterization of SiO2-B2O3-CaO-MgO glass / A2O3 composites for LTCC application // Ceramics International. 2013. № 39.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit27"><label>27</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Park J., Choi Y. Low-fire dielectric composition with permittivity 20-60 for LTCC applications // Materials Chemistry and Physics. 2004. № 88. Р. 308-312.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Park J., Choi Y. Low-fire dielectric composition with permittivity 20-60 for LTCC applications // Materials Chemistry and Physics. 2004. № 88. Р. 308-312.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit28"><label>28</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Influences of particle size of alumina filler in an LTCC system / Y. Seo, J. Jung, Y. Cho, J. Kim // Journal of the American Ceramic Society. 2007. № 90 (2). Р. 649-652.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Influences of particle size of alumina filler in an LTCC system / Y. Seo, J. Jung, Y. Cho, J. Kim // Journal of the American Ceramic Society. 2007. № 90 (2). Р. 649-652.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit29"><label>29</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Low-temperature sintering and microwave dielectric properties of anorthite-based glass-ceramics / C. Lo, J. Duh, B. Chiou, W. Lee // Journal of the American Ceramic Society. 2002. № 85 (6). Р. 2230-2235.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Low-temperature sintering and microwave dielectric properties of anorthite-based glass-ceramics / C. Lo, J. Duh, B. Chiou, W. Lee // Journal of the American Ceramic Society. 2002. № 85 (6). Р. 2230-2235.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit30"><label>30</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Wu J., HuangH. Microwave properties of zinc, barium and lead borosilicate glasses // Journal of non-crystalline solids. 1999. № 260. Р. 166-124.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Wu J., HuangH. Microwave properties of zinc, barium and lead borosilicate glasses // Journal of non-crystalline solids. 1999. № 260. Р. 166-124.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit31"><label>31</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Effects of alumina on the crystallization behavior, densification and dielectric properties of BaO-ZnO-SrO-СаО-Nd2O3-TiO2-B2O3-SiO2 glass-ceramics / H. Hsiang, L. Mei, S. Yang, W. Liao // Ceramics international. 2011. № 37. Р. 2453-2458.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Effects of alumina on the crystallization behavior, densification and dielectric properties of BaO-ZnO-SrO-СаО-Nd2O3-TiO2-B2O3-SiO2 glass-ceramics / H. Hsiang, L. Mei, S. Yang, W. Liao // Ceramics international. 2011. № 37. Р. 2453-2458.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit32"><label>32</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Jhou M., Jean J. Low-fire of microwave BaTi4O9 dielectric with BaO-ZnO-B2O3-glass // Journal of the American Ceramic Society. 2006. № 89 (3). Р. 786-791.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Jhou M., Jean J. Low-fire of microwave BaTi4O9 dielectric with BaO-ZnO-B2O3-glass // Journal of the American Ceramic Society. 2006. № 89 (3). Р. 786-791.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit33"><label>33</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Integration concepts for the fabrication of LTCC structures / A. Baker, M. Lanagan, C. Randall, E. Semouchkina // Journal of applied ceramic technology. 2005. № 2 (6). Р. 514-520.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Integration concepts for the fabrication of LTCC structures / A. Baker, M. Lanagan, C. Randall, E. Semouchkina // Journal of applied ceramic technology. 2005. № 2 (6). Р. 514-520.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit34"><label>34</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Microwave dielectric properties of low temperature cofired glass-ceramic based on B2O3-La2O3-MgO-TiO2 glass with La(Mg0,5Ti0.5)O3 ceramics / A. Yang, H. Lin, L. Luo, W. Chen // Japanese Journal of applied physics. 2006. № 3а (45). Р. 1698-1701.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Microwave dielectric properties of low temperature cofired glass-ceramic based on B2O3-La2O3-MgO-TiO2 glass with La(Mg0,5Ti0.5)O3 ceramics / A. Yang, H. Lin, L. Luo, W. Chen // Japanese Journal of applied physics. 2006. № 3а (45). Р. 1698-1701.</mixed-citation></citation-alternatives></ref></ref-list><fn-group><fn fn-type="conflict"><p>The authors declare that there are no conflicts of interest present.</p></fn></fn-group></back></article>
