The Influence of Sintering Temperature on the Surface Defects of Polished Alumina Substrates

An important task of the manufacture of alumina ceramic substrates used in a hybrid integrated circuit is to obtain high-quality polished surface with a minimum number of defects such as pores and cavities, as well as reducing the sizes of defects. High-quality polished surface can be applied to substrate schemes with greater density of interconnect, to apply a more complex topology with resistors, reducing the weight and dimensions of the elements and band pass filters. In the article the choice of producing ceramic substrates by casting the slurry on a film, the original components of the ceramic slip, the stages of preparation of the slip, and technology of manufacturing of ceramic substrates are proved. Vacuum selected as the sintering atmosphere provides the most stable results. Ceramic samples sintered at different temperatures, were investigated to determine their basic physical and technical characteristics. The results of the analysis of the obtained data allowed determining the dependence of the number of defects of the polished surface of the substrate to the temperature of sintering in vacuum and the optimal mode of firing and the composition of the ceramic slip.

керамические подложки, керамический шликер, мелкодисперсный глинозем, вакуумный обжиг, качество поверхности

1. Бушминский И. П., Морозова Г. М. Технологическое проектирование микросхем СВЧ. М.: Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2001. 354 с.

2. АО «Поликор»: Офиц. сайт. URL: http://www.polikor.net (дата обращения: 15.10.2017).

3. ЗАО «НЭВЗ-КЕРАМИКС»: Офиц. сайт. URL: http://www.nevz-ceramics.com/ru (дата обращения: 15.10.2017).

4. CeramTec: Офиц. сайт. URL: http://www.ceramtec.com (дата обращения: 15.10.2017).

5. CoorsTec: Офиц. сайт. URL: http://www.coorstek.com (дата обращения: 15.10.2017).

6. DuPont: Офиц. сайт. URL: http://www.dupont.com (дата обращения: 15.10.2017).

7. KYOCERA: Офиц. сайт. URL: http://global.kyocera.com (дата обращения: 15.10.2017).

8. MARUWA: Офиц. сайт. URL: http://www.maruwa-g.com/e/ (дата обращения: 15.10.2017).

9. MICROCERTEC: Офиц. сайт. URL: http://www.microcertec.com/index-en.html (дата обращения: 15.10.2017).

10. Centerline Technologies: Офиц. сайт. URL: http://www.centerlinetech-usa.com/ (дата обращения: 15.10.2017).

11. Microtool, Inc.: Офиц. сайт. URL: http://www.microtoolinc.com (дата обращения: 15.10.2017).

12. Micro-precision technologies, Inc.: Офиц. сайт. URL: http://www.micropt.com (дата обращения: 15.10.2017).

13. Богданов Ю., Кочемасов В., Хасьянова Е. Неорганические подложки. Характеристики, критерии выбора // Электроника НТБ. 2014. № 1. С. 204-216.

14. СаврукЕ. В., Смирнов С. В. Исследование структуры поверхности подложек ГИС СВЧ из алюмооксидной керамики после электронной и лазерной обработки // Доклады ТУСУРа. 2010. № 1 (21). С. 123-127.

15. Игумнов Д. В., Королев Г. В., Громов И. С. Основы микроэлектроники. М.: Высш. шк., 1991. 254 с.

16. Кумачева С. А., Непочатов Ю. К., Денисова А. А. Технология изготовления корундовых подложек ВК-100 методом пленочного литья // Современная электроника. 2017. № 3. С. 20-24.

17. Almatis: Офиц. сайт. URL: http://www.almatis.com (дата обращения: 15.10.2017).

18. Mistler RichardE., Twiname Eric R. Tape Casting: Theory and Practice. Springer, 2012. 330 р.